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特種氣體的主要生產工序

包括氣體合成、氣體純化、氣體混配、氣瓶處理、氣體充裝、氣體分析檢測。氣體合成是將原料在特定壓力、溫度、催化劑等條件下，通過化學反應得到氣體粗產品。氣體純化是通過精餾、吸附等方式將粗產品精制成更高純度的產品。

氣體混配是將兩種或兩種以上有效組分氣體按照特定比例混合，得到多組分均勻分布的混合氣體。

氣瓶處理是根據(jù)載氣性質及需求的不同，合肥特種氣體，對氣瓶內部、內壁表面及外觀進行處理的過程，以保證氣體存儲、運輸過程中產品的穩(wěn)定。氣體充裝是指通過壓力差將氣體充入氣瓶等壓力容器；氣體分析檢測即為對氣體的成分進行分析、檢測的過程。

特種氣體的雜質檢測和監(jiān)控

隨著電子特氣的純度越來越高，對分析檢測方法和儀器提出了更高的要求，檢測限從zui早的ppm級已經發(fā)展到ppt級。目前國外電子氣體的分析己經經歷了離線分析、在線分析(on-line)，原位分析(insitu)等幾個階段。對于高純度電子氣體的分析，國外已開發(fā)出系統(tǒng)完整的分析測試方法和現(xiàn)場分析儀器。而由于我國電子特氣行業(yè)一直重生產而輕檢測，因此分析方法和分析儀器同國外廠商相比都比較落后。

特種氣體管道的施工方法

　　特種氣體管道的施工對環(huán)境的要求比較高，管道施工采用大批量預制然后現(xiàn)場 安裝的方法。按照標準，特種氣體廠，預制作業(yè)需要在潔凈度達到百級的凈化間進行，作業(yè)人員也按照百級凈化間的管理著裝。因此對于大宗特氣項目，一般都建有一個標準的預制間。 但我們在實際的施工中，大宗特氣項目很少，一般都是簡單系統(tǒng)和常規(guī)系統(tǒng)，為了節(jié)約成本和資金，在要求不是很高的情況下、一般采用在施工現(xiàn)場找一塊相對潔凈的房間采取一定的防塵措施就地施工，除作業(yè)人員和檢察人員外，應禁止無關人員出入。如果業(yè)主要求比較嚴格，也采用彩鋼板搭設一個簡單的預制件，房間內鋪上地板革，特種氣體價格，在屋中用潔凈塑料布封出一塊裝上兩臺層流罩，做一個簡單的凈化空間，進行管道的預制工作。

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